半導体製造装置向けを主とした特殊ガス設備工事



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使用する機器類や材料の品質を厳しく管理し、安心・安全な設備工事を行います。

半導体ウエハー成膜に使用するガスには、水分や
油分、不純物などを一切含まないよう、パイプラインで供給する必要があります。
そのため、使用する機器類や材料は常にクリーンであるよう品質を厳しく管理して、パイプの加工の際にも
異物混入を防ぐように細心の注意を払っています。

独自のノウハウが詰まった精密な配管加工・溶接技術



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サイズ、継手の材質、形状、メーカーなどを
考慮した精密な配管加工を行っています。

パイプの切断、端面加工、自動溶接など
各作業工程では、製作誤差を極力無くす必要があります。
口径3.18mm~114mm以上のパイプを扱いますが、
自動溶接では各サイズ継手の材質、形状、メーカーを考慮し適正な溶接条件の設定、内圧管理を行っています。

  • CAD設計



    省スペース化、施工性、品質保持、低コスト、短納期など、
    お客さまの様々なご要望にお応えする設計を行います。

    Auto CADを使用し、ガス供給システムの系統図、配管図、
    製作図を作図いたします。
    省スペース化、施工性、流体の品質保持、低コスト、短納期を考慮した設計を追求します。

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  • 高純度ガス配管製作



    ステンレス製クリーンパイプと高度な溶接技術を駆使して、
    高品質なガス配管を短納期で提供します。

    特殊ガスの配管制作では、不純物の混入を防ぐ配管加工・溶接技術が非常に重要となります。
    主要としては、ステンレス製クリーンパイプによる製作を行っており、Tig手溶接・自動溶接技術を駆使して安全性を第一に、
    高品質・短納期を目指し、お客さまのご要望にお応えいたします。

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  • 供給ユニット製作



    クリーン加工場による、シリンダーキャビネット、
    バルブマニフォールド等の各種ガス設備機器の製作、組立を行います。

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  • メンテナンス



    特殊ガス設備の保守・保全・定期点検に関するサポートを行います。
    配管、部品の交換や改造及び、点検、安全対策工事なども
    対応します。

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  • 設置



    ガス供給機器や配管架台など重量物の、揚重運搬及び据付け、アンカー固定を行います。

  • 試運転・検査



    ガス機器の試運転や検査にはそれぞれガスの特性に応じた知識、技術が必要です。用途に応じて、耐圧、気密、パーティクル、露点検査などの各種性能検査の労務対応を行います。